3 月 3 日晚间，中芯国际发布公告称，公司根据批量采购协议，已于 2020 年 3 月 16 日至 2021 年 3 月 2 日的 12 个月期间，就购买阿斯麦产品与阿斯麦集团（ASML）签订了一份高达 12 亿美元（约合 78 亿人民币）价格的购买单。采购方式上，中芯国际需支付 30% 首期付款，其余部分在交货时支付。

虽然该公告并未公布订单包含的具体产品以及机器型号，但提及“用于生产晶圆的阿斯麦产品”，明显为光刻机。光刻机是芯片制造所需的关键设备，当前中芯国际正布局先进和传统制程两类芯片，都需要光刻机的支撑。

据了解，荷兰 ASML（阿斯麦）是全球最大的光刻机制造商，向全球芯片制造商提供硬件、软件及服务。其在 45nm 以下制程的高端光刻机市场中占有 85% 的份额，在 EUV（极紫外）光刻机领域则处于绝对垄断地位，市场占有率 100%。近几年，ASML 一直同中芯国际保持上下游直接供应关系，并与多家中国芯片企业保持合作。

数据显示，ASML 2020 全年累计出货交付 258 台光刻机系统，包括 236 台新系统和 22 台二手系统。从送达地区来看，中国台湾地区排名第一，占比 36%；韩国排名第二，占比 31%；中国大陆排名第三，占比 18%。估算可知，仅 2020 年，ASML 面向整个中国市场交付的光刻机大约有 140 台左右。

EUV 光刻机是生产 5nm 芯片必不可缺的设备，已经成为台积电、三星等推进半导体高端制程的必需品。

2020 年年末，中芯国际联合 CEO 梁孟松在辞职信中提到，他已经带领自己在中芯国际的 2000 多名队员，完成了中芯国际从 28nm 到 7nm 工艺的五个世代的技术开发。此外，5nm 和 3nm 的最关键、也是最艰巨的 8 大项技术也已经有序展开， 只待 EUV 光刻机的到来，就可以进入全面开发阶段。

这意味着，中芯国际要想实现 7nm 以下制程量产突破，万事俱备，只差 EUV。

至于本次 12 亿美元采购订单是否包含 EUV 光刻机，中芯国际方面未在公告中明确表示。公开数据显示，ASML 的 EUV 光刻机售价为 1.2 亿美元，如果本次采购订单均为 EUV 光刻机的话，则可以购买 10 台。

不过据上海证券报报道，有业内资深人士透露，除了 EUV 光刻机，中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机，包括 DUV（深紫外）光刻机。

事实上，早在 2018 年年初，中芯国际就曾耗资 1.2 亿美元（约合 7.8 亿人民币），向 ASML 订购了一台 EUV 光刻机。原本预计将于 2019 年底交付，但因荷兰政府没有向 ASML 发放新的出口许可证，导致迟迟无法交付。

公开资料显示，目前 EUV 正受国际协议限制形成了出口管制，而在芯片制造厂中运用广泛的 DUV，是不受国际协议限制的。

3 月 1 日，有媒体报道，为中芯国际提供高制程（14nm 及以上）工艺部分产品所需设备的美国设备商已获美许可证，而该批次与中芯国际部分成熟制程工艺设备供应商为同次获批。

当日兴业证券研究所电子团队也发布报告对上述消息进行了确认，表示经其产业链验证，中芯国际部分供应商已经拿到相关许可证。其中，美国部分供应商中 A 公司已经拿到相关许可证，L 公司和 K 公司还在等待结果，判断后边也会陆续拿到许可证，许可证以 10nm 为分界点，14nm 及以上工艺制程相关产品获得许可，10nm 及以下节点未拿到许可证。

3 月 2 日，针对上述报道，中芯国际在上证 e 互动上回复称：“公司会尽最大努力，持续携手全球产业链伙伴，保证公司生产连续性及扩产规划不受影响。虽然不确定性依然存在，但我们始终坚持依法合规经营，有信心保证公司短期内生产经营不受重大不利影响。”

有分析师认为，中芯国际走出被美方制裁的负面冲击，在全球“芯片荒”下有望成为重要赢家。华兴资本分析师 Sze Ho Ng 表示，全球汽车晶片面临短缺，但汽车行业不需要很多领先的晶片，中芯很多周边晶片是建立在传统工艺。这些虽然是较老旧的 28nm 以上技术，但已足以应付市场需求。